磁懸浮分子泵CXF-200/1401
簡要描述:簡稱中科科儀,歷經六十余年的發(fā)展,始終致力于電子光學和真空技術領域,公司業(yè)務領域覆蓋掃描電子顯微鏡、氦質譜檢漏儀等科學儀器設備和分子泵、真空應用設備等核心零部件及產業(yè)設備,產品廣泛應用于航空航天、半導體、汽車工業(yè)、新能源、新材料、節(jié)能環(huán)保等前沿科學研究和裝備制造領域。磁懸浮分子泵CXF-200/1401緊湊型結構,滿足更小的物理空間需求、任意角度安裝,適合各種設計需求、豐富擴展功能,滿足客戶定
產品型號:
所屬分類:分子泵
更新時間:2024-10-28
廠商性質:經銷商
CXF-200/1401
產品特點:
節(jié)能:無摩擦,避免摩擦熱損耗、較其它類型產品能耗降低30%
高效:更長的連續(xù)工作時間、高氣流量和高抽速
靈活:緊湊型結構,滿足更小的物理空間需求、任意角度安裝,適合各種設計需求、豐富擴展功能,滿足客戶定制化需求
應用領域:
科研、加速器、碳化硅、晶體晶振、光伏、Low-E玻璃鍍膜、ITO鍍膜、光學鍍膜、裝飾鍍膜、平板顯示、真空爐
電真空、新能源、新材料、真空干燥、低溫制冷、薄膜沉積、刻蝕、離子注入、光刻、電子器件
技術參數(shù):
進氣口法蘭:DN200 ISO F(標配) DN200 CF(可選) DN200 LF(可定制)
排氣口法蘭:KF40
抽速速率(L/S):N2:1280 Ar:1100 He:880 H2:560
壓縮比:N2:>1E8 Ar:>1E8 He:>1E4 H2:>1E3
極限壓強(Pa):1E-7(橡膠密封) 1E-8(金屬密封)
最大瞬時入口流量(sccm):1100
保護氣入口法蘭(選配):KF10
推薦保護氣體流量:20
最大允許磁場強度: 徑向:3 軸向:15
額定轉速(rpm):30000
啟動時間(min):≤6
停機時間(min):≤8
冷卻方式:水冷
冷卻水流量(L/min):2
推薦冷卻水溫度(℃):20±5
電源電壓(V AC): 220±10%,50Hz 110±10%,60Hz
適配電源型號:CXFD-1001
建議前級泵: ≥16
重量(kg):51
產品尺寸圖: