萊寶渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。優(yōu)點是啟動快,能抗各種射線的照射,耐大氣沖擊,無氣體存儲和解吸效應(yīng),無油蒸氣污染或污染很少,能獲得清潔的超高真空。廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。
渦輪分子泵的軸承由有油潤滑的滾動軸承和滑動軸承向完q非接觸式的空氣軸承和磁軸承方向發(fā)展。轉(zhuǎn)子的抽氣單元有渦輪葉片、盤式葉片和牽引式螺旋槽結(jié)構(gòu)。而且動、靜葉片間的間隙很小,葉片很長剛性差。由于操作錯誤,突暴大氣到泵中,使葉片損壞,因為受大氣負(fù)載和離心力的作用開始彎曲振動,超過動、靜葉片的間隙將會發(fā)生葉片相碰損壞事故。因而,高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子系統(tǒng)遭到破壞時有發(fā)生,所以關(guān)于渦輪分子泵的安全使用問題,曾引起過分子泵的設(shè)計者和操作者的重視和研究,以使渦輪分子泵順利推廣應(yīng)用與安全運行。
萊寶渦輪分子泵其主要特點如下:
1、高真空度:可以實現(xiàn)高真空度,其最高真空度可達到10^-10Pa,可以滿足高真空系統(tǒng)的需求。
2、高抽速:抽速高,可以達到1000L/s以上,抽速大大提高了泵的抽氣效率。
3、無油無污染:無需潤滑油,不會產(chǎn)生油蒸氣和油污染,也不會對被抽氣體產(chǎn)生污染,因此適用于對被抽氣體要求高純度的場合。
4、結(jié)構(gòu)簡單:結(jié)構(gòu)簡單,由電機、轉(zhuǎn)子、定子、電子控制器等部分組成,操作和維護都比較方便。
5、噪音?。涸胍粝鄬^小,不會對周圍環(huán)境和人員造成太大的影響。
6、適應(yīng)性強:適用于各種氣體,包括惰性氣體、反應(yīng)性氣體和腐蝕性氣體等,具有較強的適應(yīng)性。
7、可靠性高:電子控制器具有自動保護功能,可以自動停機保護,保證了泵的使用安全性和可靠性。