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愛發(fā)科低溫泵株式會社,是由株式會社愛發(fā)科(當時名稱日本真空技術株式會社)與美國BROOKS AUTOMATIONINC.(當時名稱Helix Technology Corporation CTI事業(yè)部)共同出資、簽訂技術合作協(xié)議而成立的合資公司,誕生于1981年,并從茅崎市的愛發(fā)科總部租借場地之后開始正式經(jīng)營。4年之后,即1985年終于在現(xiàn)在的茅崎市矢煙,總部工廠籌建成功,使規(guī)模得以進一步擴大