ULVAC愛發(fā)科標準型低溫泵
簡要描述:愛發(fā)科低溫泵株式會社,是由株式會社愛發(fā)科(當時名稱日本真空技術(shù)株式會社)與美國BROOKS AUTOMATIONINC.(當時名稱Helix Technology Corporation CTI事業(yè)部)共同出資、簽訂技術(shù)合作協(xié)議而成立的合資公司,誕生于1981年,并從茅崎市的愛發(fā)科總部租借場地之后開始正式經(jīng)營。4年之后,即1985年終于在現(xiàn)在的茅崎市矢煙,總部工廠籌建成功,使規(guī)模得以進一步擴大
產(chǎn)品型號: CRYO系列
所屬分類:ULVAC愛發(fā)科低溫泵
更新時間:2024-11-25
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
ULVAC愛發(fā)科低溫泵
CRYO-U 系列
CRYO-U10HSP
ULVAC CRYOGENICS
CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。根據(jù)FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同,從小型到大型有的產(chǎn)品陣容供您選擇。
特點
適合濺射應(yīng)用。
氬氣容量是現(xiàn)有型號(U10H)的2倍。
再生時間間隔延長意味著更高的可用性。
可以進行多個連接(多3個)。
ULVAC愛發(fā)科 標準低溫泵
新款ULVAC愛發(fā)科 標準低溫泵壓縮機單元
使用 安裝組件可無需支架直接搭載
標配熱傳感器
熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升,通知油量的減少和泵的異常。
內(nèi)置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱(油容量:23~30L)減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。
特點
安裝方向自由
安裝方向沒有限制,擴展了設(shè)備設(shè)計的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上,有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現(xiàn)小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運行時以及泵停止時,碳氫化合物的回流很少。
用途
分析設(shè)備、研究開發(fā)設(shè)備、實驗設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)
蒸發(fā)設(shè)備、濺射設(shè)備等著排氣系統(tǒng)
H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)
用于使低溫泵運轉(zhuǎn)。將壓縮后的氦氣送出冷凍機,冷卻從冷凍機回來的高溫氦氣,使之循環(huán)。
- 上一篇:磁懸浮分子泵CXF-200/1401
- 下一篇:EDO干式渦旋泵