發(fā)布時(shí)間: 2024-11-25 點(diǎn)擊次數(shù): 101次
OSAKA渦輪分子泵是一種高性能的真空泵,是利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。其工作原理基于分子碰撞和動(dòng)能傳遞的原理,當(dāng)氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時(shí),會(huì)被驅(qū)向出氣口,再由前級(jí)泵抽除。
渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉(zhuǎn)子(即動(dòng)葉輪)、靜葉輪和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)等組成。動(dòng)葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動(dòng)的速度,一般為150~400米/秒。單個(gè)葉輪的壓縮比很小,因此渦輪分子泵通常由十多個(gè)動(dòng)葉輪和靜葉輪組成,動(dòng)葉輪和靜葉輪交替排列,幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。每?jī)蓚€(gè)動(dòng)葉輪之間裝一個(gè)靜葉輪,靜葉輪外緣用環(huán)固定,使動(dòng)、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動(dòng)葉輪可在靜葉輪間自由旋轉(zhuǎn)。
1、準(zhǔn)備工作
檢查設(shè)備:確保渦輪分子泵及其附屬設(shè)備(如前級(jí)泵、冷卻系統(tǒng)等)處于良好狀態(tài),無損壞或泄漏。
清潔環(huán)境:保持泵體及周圍環(huán)境的清潔,避免灰塵和雜質(zhì)進(jìn)入泵內(nèi)。
2、啟動(dòng)步驟
前級(jí)泵啟動(dòng):先開啟前級(jí)泵,將系統(tǒng)壓力抽至一定程度(如2托),為渦輪分子泵的啟動(dòng)創(chuàng)造條件。
渦輪分子泵啟動(dòng):在前級(jí)泵工作穩(wěn)定后,啟動(dòng)渦輪分子泵。注意觀察泵的啟動(dòng)電流和轉(zhuǎn)速,確保正常啟動(dòng)。
3、運(yùn)行監(jiān)控
溫度監(jiān)控:監(jiān)測(cè)渦輪分子泵的溫度,確保在允許范圍內(nèi)運(yùn)行。如果溫度過高,應(yīng)及時(shí)調(diào)整或停機(jī)檢查。
壓力監(jiān)控:定期檢查系統(tǒng)的真空度,確保渦輪分子泵在最佳工作狀態(tài)下運(yùn)行。
4、停機(jī)步驟
逐步降壓:在停機(jī)前,應(yīng)逐漸降低系統(tǒng)壓力,避免突然停機(jī)對(duì)泵造成沖擊。
關(guān)閉電源:在系統(tǒng)壓力降至安全范圍后,關(guān)閉渦輪分子泵電源。然后關(guān)閉前級(jí)泵和其他附屬設(shè)備。
5、維護(hù)與保養(yǎng)
定期更換潤(rùn)滑油:根據(jù)使用說明書的要求,定期更換渦輪分子泵的潤(rùn)滑油,確保泵的正常潤(rùn)滑和運(yùn)轉(zhuǎn)。
清潔與檢查:定期對(duì)渦輪分子泵進(jìn)行清潔和檢查,特別是葉片和軸承部分,確保無磨損和雜質(zhì)積累。
避免頻繁啟停:盡量減少渦輪分子泵的頻繁啟停次數(shù),以延長(zhǎng)其使用壽命。
6、特殊操作
處理返油問題:為防止渦輪分子泵本身以及前級(jí)泵的油蒸氣進(jìn)入高真空端,可采取一系列措施,如開機(jī)前先用前級(jí)泵抽至一定壓力后再啟動(dòng)渦輪分子泵,停機(jī)時(shí)從入口端漏入空氣達(dá)到一定壓強(qiáng)等。
烘烤去氣:對(duì)于某些需要高溫烘烤去氣的應(yīng)用場(chǎng)景,應(yīng)注意控制烘烤溫度不超過渦輪分子泵的承受范圍(如120℃),并密切監(jiān)視轉(zhuǎn)子的溫度。