OSAKA渦輪分子泵是一種高性能的真空泵，是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。其工作原理基于分子碰撞和動能傳遞的原理，當氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時，會被驅(qū)向出氣口，再由前級泵抽除。

　　渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉(zhuǎn)子（即動葉輪）、靜葉輪和驅(qū)動系統(tǒng)等組成。動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度，一般為150~400米/秒。單個葉輪的壓縮比很小，因此渦輪分子泵通常由十多個動葉輪和靜葉輪組成，動葉輪和靜葉輪交替排列，幾何尺寸基本相同，但葉片傾斜角相反。每兩個動葉輪之間裝一個靜葉輪，靜葉輪外緣用環(huán)固定，使動、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙，動葉輪可在靜葉輪間自由旋轉(zhuǎn)。

　　OSAKA渦輪分子泵的保養(yǎng)方法：

　　1、保持清潔

　　外殼清潔：經(jīng)常保持分子泵外殼的清潔，防止灰塵和雜質(zhì)積累。

　　進氣口清潔：每次停機后，務(wù)必清潔各分子泵的進氣口處，使其保持干凈，以避免不必要的損壞。

　　2、檢查油位和潤滑油

　　油位檢查：定期檢查分子泵油位是否正常，確保油量處于油標上下限之間。

　　潤滑油更換：分子泵工作4000小時以上或一年必須換油一次。如果泵經(jīng)常烘烤或大負載工作或抽除侵蝕性氣體，潤滑油充注及更新時間間隔應(yīng)縮短。

　　3、溫度監(jiān)控

　　溫度檢查：正常生產(chǎn)過程中須經(jīng)常檢查分子泵溫度，聽是否有異常震動和聲音。

　　4、冷卻系統(tǒng)維護

　　冷卻水閥操作：在開分子泵前必須打開冷卻水閥；在分子泵的葉輪停止運轉(zhuǎn)后，必須關(guān)閉冷卻水閥。

　　水路檢查：當出現(xiàn)報警信息“EF”時，應(yīng)檢查冷卻水路是否通暢，可用q槍檢查。確保水路順暢后，方可再次打開分子泵。

　　5、避免沖擊和振動

　　防護措施：分子泵是高旋轉(zhuǎn)機械，動靜片間間隙很小，不能抗過大的沖擊。應(yīng)在分子泵入口裝設(shè)防護網(wǎng)，以避免異物進入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片。

　　6、故障處理

　　常見故障排除：掌握渦輪分子泵系統(tǒng)的常見故障及排除方法，如在前級泵工作時和真空室處于真空狀態(tài)時不能將渦輪分子泵停掉，否則將會使油蒸汽迅速從前級管路返流到泵的清潔端。