普發(fā)渦輪分子泵是一種高真空泵,它采用渦輪葉輪的旋轉(zhuǎn)來產(chǎn)生氣體的吸入和排出。它在科學(xué)研究、半導(dǎo)體制造、工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。其工作原理基于分子動量傳遞和離心力。當(dāng)渦輪葉輪高速旋轉(zhuǎn)時,氣體分子受到離心力的作用,從進(jìn)口處進(jìn)入葉片間隙,并在葉片之間碰撞和擴(kuò)散。由于葉片的形狀和排列,氣體分子在葉片間形成螺旋狀流動,逐漸增加速度和動能。最終,氣體分子被抽取到渦輪葉輪的出口處,并排入真空系統(tǒng)中。
1、前級真空壓力
對于帶有額外壓縮級的渦輪分子泵,其前真空壓力可以上升至30 hPa以上。而帶有純渦輪級的泵,最大前真空壓力為2-3 hPa,超過此值可能導(dǎo)致泵過熱甚至損壞。
2、標(biāo)注排氣管道尺寸
安裝排氣管道和閥門時,應(yīng)至少按照泵的標(biāo)稱尺寸進(jìn)行,以避免流導(dǎo)值不良導(dǎo)致的抽速顯著下降。例如,直徑和長度不符合要求的進(jìn)氣管會導(dǎo)致電導(dǎo)值損失,嚴(yán)重影響有效抽速。
3、高真空和前真空連接
如果渦輪分子泵的高真空法蘭連接至接受器,前級管道必須保持靈活,否則固定連接會導(dǎo)致泵殼受熱后無法膨脹,產(chǎn)生不當(dāng)?shù)牟牧蠎?yīng)力,影響轉(zhuǎn)子自由移動并可能導(dǎo)致軸承故障。
4、安全連接高真空法蘭/真空室
渦輪分子泵在額定轉(zhuǎn)速下具有較高的扭矩,尤其是在大型泵中,必須安全連接高真空法蘭和真空室,避免因布局不當(dāng)導(dǎo)致真空室變形或泵扭曲。
5、碎片保護(hù)
應(yīng)在渦輪分子泵的高真空法蘭上插入防護(hù)罩,以防止墜落碎片損壞轉(zhuǎn)子。這一點對于確保泵的長期穩(wěn)定運行至關(guān)重要。
6、烘烤泵
烘烤泵時,必須遵守生產(chǎn)商規(guī)定的最大高真空法蘭溫度為120°C的要求,過高溫度會導(dǎo)致泵過熱,損害軸承或轉(zhuǎn)子。
7、為渦輪分子泵排氣
正確排氣是避免碳?xì)浠衔锓盗骱途S護(hù)系統(tǒng)純凈的關(guān)鍵步驟。應(yīng)使用干燥氣體如氮氣或無油空氣進(jìn)行充氣,并在適當(dāng)?shù)乃俣认屡艢狻?/div>
8、磁場與輻射
強磁場會對渦輪分子泵產(chǎn)生不良影響,導(dǎo)致轉(zhuǎn)子過熱。同時,粒子加速器附近的輻射也會損壞電子驅(qū)動器和測量設(shè)備,因此需要采取防護(hù)措施。