普發(fā)真空 多級(jí)羅茨干泵
簡(jiǎn)要描述:普發(fā)真空ADH 系列多級(jí)羅茨干式真空泵用于最新工藝應(yīng)用的新型高性能干式泵新型高性能干式泵ADH 系列專(zhuān)門(mén)為太陽(yáng)能、半導(dǎo)體和 LED 市場(chǎng)的苛刻工藝應(yīng)用而開(kāi)發(fā),為N2 和 H2 提供 600 至 4,500 m3/h 的高性能抽速。
產(chǎn)品型號(hào): ADH系列
所屬分類(lèi):普發(fā)真空泵
更新時(shí)間:2024-06-18
廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
普發(fā)真空ADH 系列多級(jí)羅茨干式真空泵
用于最新工藝應(yīng)用的新型高性能干式泵
新型高性能干式泵
ADH 系列專(zhuān)門(mén)為太陽(yáng)能、半導(dǎo)體和 LED 市場(chǎng)的苛刻工藝應(yīng)用而開(kāi)發(fā),為N2 和 H2 提供 600 至 4,500 m3/h 的高性能抽速。
半導(dǎo)體: H2 高抽速
ADH系列產(chǎn)品性能為您的工藝帶來(lái)以下優(yōu)勢(shì):
ALD工藝處理量:小分子氣體的高抽速效率可以允許更快的在工藝步驟之間排空腔室。
外延和EUV:高抽速和大流量公差符合苛刻的工藝規(guī)范。
太陽(yáng)能和LED:氫氣準(zhǔn)備就緒
ADH系列為太陽(yáng)能(a-Si 和 μ-Si PECVD)以及LED(MOCVDGaN,AlGaAs,AlGalnP...)提供最佳的氫氣抽送效率。
無(wú)中間維護(hù)
所有軸承均經(jīng)過(guò)了油潤(rùn)滑,不需要現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)。通過(guò)改善粉末耐受性和冷凝管理,實(shí)現(xiàn)了較長(zhǎng)的維護(hù)間隔以及泵壽命延長(zhǎng),這意味著降低了運(yùn)行成本。
對(duì)工藝副產(chǎn)物的高耐受性
泵配備雙重溫度控制的水冷回路和集成的熱氮吹掃,以防止粉末積聚或冷凝。強(qiáng)大的電機(jī)可以處理大量粉末,保證良好的重啟能力。此外,精心挑選的材料可以承受腐蝕性化學(xué)清洗劑。ADH系列采用全新的監(jiān)控系統(tǒng)進(jìn)行升級(jí),其功能有助于提高工藝可靠性。
用于低COO的高效率
在泵不用于該工藝時(shí),智能模式可通過(guò)降低功率和氮消耗降低運(yùn)行成本。得益于優(yōu)化的設(shè)計(jì),泵在同級(jí)抽送性能水平中可提供市場(chǎng)上最佳的功耗。優(yōu)化的設(shè)計(jì)還可以降低發(fā)熱量,從而降低冷卻水流量。
堅(jiān)固、安全
ADH系列的設(shè)計(jì)和材料能夠承受極大的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)內(nèi)部壓力應(yīng)力。這確保在用于運(yùn)行爆炸性氣體(如氫氣和硅烷)的應(yīng)用時(shí)具有安全性。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體 平板顯示器 太陽(yáng)能電池 LED
客戶(hù)受益
■ 高達(dá)4,500 m3/h 的抽速,在N2 和 H2 中具有較高的性能
使用50和60Hz電源具有相同的性能
■ 得益于潤(rùn)滑的軸承以及對(duì)工藝副產(chǎn)品的高耐受性,具有較長(zhǎng)的維護(hù)間隔
■ 低功率和低耗水量實(shí)現(xiàn)低COO
■ 由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動(dòng)態(tài)內(nèi)應(yīng)力,從而增加了安全性
普發(fā)真空ADH系列多級(jí)羅茨干式真空泵技術(shù)參數(shù):