普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀是一種基于質(zhì)譜原理的檢漏儀器，由真空系統(tǒng)、氦氣充填系統(tǒng)、氣體采樣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)組成。檢測時，將被測物體置于真空室內(nèi)，使其內(nèi)部達(dá)到所需真空度后，使用氦氣充填系統(tǒng)向被測物體外部充填氦氣，并通過氣體采樣系統(tǒng)將被測物體周圍環(huán)境中的氦氣吸入系統(tǒng)內(nèi)部。在采集過程中，加熱系統(tǒng)會對被測物體進(jìn)行加熱處理，以促進(jìn)任何潛在泄漏點的放大和釋放氦氣。采集到的氦氣進(jìn)入真空室內(nèi)的質(zhì)譜儀中進(jìn)行分析，通過檢測氦氣分子的質(zhì)量/電荷比，來確定被測物體是否存在泄漏。

　　普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)保養(yǎng)措施：

　　1、日常保養(yǎng)

　　清潔外部表面：定期清理氦質(zhì)譜儀的外部表面，清除灰塵和其他污染物，以防止機(jī)器內(nèi)部的灰塵污染。使用濕布擦拭氦質(zhì)譜儀的外表，避免使用有溶劑的清潔劑，以免損壞機(jī)器。

　　檢查電路和部件：定期檢查氦質(zhì)譜儀的內(nèi)部電路板，確保電路正常工作，并及時處理可能存在的問題。確保接收器、探頭和其他部件的清潔，以保證正常工作。

　　2、故障處理

　　內(nèi)部泄漏：當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。

　　本底信號不穩(wěn)定：如果本底信號過高或不穩(wěn)定，可能是環(huán)境本底被污染或質(zhì)譜室被污染。應(yīng)通風(fēng)降低環(huán)境本底，或返廠進(jìn)行清洗。同時，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，泵油是否被污染。

　　分子泵不啟動：檢查供電和前級真空是否正常，常見的原因是前級真空機(jī)械泵故障或沒有打開造成的分子泵無法啟動。

　　3、定期檢查

　　探頭和電纜：定期檢查氦質(zhì)譜儀的探頭，確保電子探頭的電壓和頻率正常，以及電子探頭的靈敏度和性能是否正常。同時，定期檢查外部電纜，確保電纜的緊固程度和性能正常。

　　電源和軟件：定期檢查氦質(zhì)譜儀的電源，確保電源的正常工作和電壓的正常調(diào)節(jié)。還應(yīng)定期檢查軟件，確保軟件的正常工作。

　　4、操作注意事項

　　環(huán)境條件：氦質(zhì)譜檢漏儀存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生，避免外來物進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部。操作人員應(yīng)嚴(yán)格按照安全操作規(guī)程進(jìn)行操作。

　　運(yùn)行監(jiān)測：使用時，注意觀察儀器的運(yùn)行情況，一旦發(fā)現(xiàn)問題（如較大振動、高噪音等），立即切斷電源并排除故障。渦輪分子泵高速運(yùn)轉(zhuǎn)時，不要搬動檢漏儀，以免葉片與轉(zhuǎn)子碰撞。