磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TGkine-R系列
簡要描述:OSAKA大阪分子泵 -磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TGkine-R系列具備了磁懸浮復(fù)合分子泵(控制器?電源一體型)TGkine-B系列優(yōu)秀的產(chǎn)品性能,本系列更搭載了將工作數(shù)據(jù)、軸承使用次數(shù)等記憶在泵本體中的存儲功能,即使在維修期間更換控制器,也能夠傳輸數(shù)據(jù)。
產(chǎn)品型號: TGkine3300M-R/TGkine3400M
所屬分類:渦輪分子泵
更新時間:2024-06-18
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
OSAKA大阪真空磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TGkine-R系列
磁懸浮復(fù)合分子泵具備了磁懸浮復(fù)合分子泵(控制器?電源一體型)TGkine-B系列優(yōu)秀的產(chǎn)品性能,本系列更搭載了將工作數(shù)據(jù)、軸承使用次數(shù)等記憶在泵本體中的存儲功能,即使在維修期間更換控制器,也能夠傳輸數(shù)據(jù)。
OSAKA大阪真空磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵TGkine-R系列產(chǎn)品型號:
TGkine2200M-R、TGkine3300M-R / TGkine3400M-R、TGkine3800M-R / TGkine4200M-R
產(chǎn)品特點(diǎn):
■ 省電設(shè)計(jì)
■ 在真空泵本體中,可存儲設(shè)置參數(shù),運(yùn)轉(zhuǎn)數(shù)據(jù)及異常歷史等。
※即使在維護(hù)階段更換控制器,也可實(shí)現(xiàn)全數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)移。
■ 支持多種通信接口規(guī)格 (兼容EtherCAT通信協(xié)定)
■ 適用于國際規(guī)格 CE/NRTL/SEMI-S2
使用場合:
■ 半導(dǎo)體制造設(shè)備
■ FPD制造設(shè)備
■ 太陽能電池制造設(shè)備
■ 玻璃/鏡片等光學(xué)部件加工
■ 鍍膜工藝
■ 加速器/宇宙環(huán)境模擬器
技術(shù)參數(shù):
型號※1 | TGkine3300M-R | TGkine3400M-R | |
吸氣口法蘭 | VG300 / ISO-B320 | VG350 | |
排氣口法蘭※2 | KF40 / KF50 | ||
排気速度 | N2 (L/s) | 3300 | |
N(付帶金屬保護(hù)網(wǎng)) (L/s) | 3100 | ||
H2 (L/s) | 2700 | ||
最大壓縮比 | N2 | >1×108 | |
H2 | 3×103 | ||
最大氣體流量※3、※4 | N2 (sccm) | 2600 | |
Ar (sccm) | 1900 | ||
起動時間 | (min) | ≦11 | |
停止時間 | (min) | ≦13 | |
到達(dá)壓力※5 | (Pa) | <2×10-7 | |
(Torr) | <1.5×10-9 | ||
最大排氣口壓力※6 | (Pa) | 110 | |
(Torr) | 0.82 | ||
推薦前級泵 | (L/min) | ≧2000 | |
安裝方向 | 任意 | ||
質(zhì)量 | (kg) | 64 / 65 | 67 |