高流量應(yīng)用型超高純度閥,ALD20 系列
簡要描述:新型 ALD20 超高純閥專為突破原子層沉積閥技術(shù)的極限而設(shè)計,從而使流量達到使用現(xiàn)有 ALD 閥所能達到的兩到三倍。該閥門使半導(dǎo)體芯片制造商不僅具有增加產(chǎn)量和提高效率的潛力,而且還可以在不顯著改變工藝的情況下做到這一點。ALD20 可以在與現(xiàn)有 ALD 閥相同的占用空間 (1.5 in.) 中提供 1.2 Cv 的流量,從而無需改裝現(xiàn)有設(shè)備即可實現(xiàn)更高的性能第二款標(biāo)準(zhǔn) ALD20 閥類型具
產(chǎn)品型號:
所屬分類:閥門
更新時間:2024-06-18
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
ALD20 提供了客戶對世偉洛克超高純 ALD 閥所期望的可靠性和性能,同時還帶來了先前無法實現(xiàn)的溫度穩(wěn)定性和流量可能性。這款閥門使制造商能夠試驗不同的工藝和低蒸汽壓化學(xué)品,以實現(xiàn)當(dāng)今和未來開發(fā)先進技術(shù)所需的均勻氣體沉積。
新型 ALD20 超高純閥專為突破原子層沉積閥技術(shù)的極限而設(shè)計,從而使流量達到使用現(xiàn)有 ALD 閥所能達到的兩到三倍。該閥門使半導(dǎo)體芯片制造商不僅具有增加產(chǎn)量和提高效率的潛力,而且還可以在不顯著改變工藝的情況下做到這一點。
ALD20 可以在與現(xiàn)有 ALD 閥相同的占用空間 (1.5 in.) 中提供 1.2 Cv 的流量,從而無需改裝現(xiàn)有設(shè)備即可實現(xiàn)更高的性能
第二款標(biāo)準(zhǔn) ALD20 閥類型具有稍大的占用空間寬度 (1.75 in.),可產(chǎn)生更高的 1.7 流量系數(shù) — 這也是超高循環(huán)壽命超高純閥目前所能提供的最高流量
還可提供定制的流量系數(shù)
ALD20 的設(shè)計能夠在超高循環(huán)壽命中促進一致的操作性能得益于以下幾項主要特點:
整個閥門和執(zhí)行機構(gòu)均可浸入 50°F (10°C) 至 392°F (200°C) 的氣箱中,從而無需在加熱期間隔離執(zhí)行機構(gòu)。因此,低蒸汽壓氣體保持在有利于理想流量的溫度下,沉積一致性得以改善
316L VIM-VAR 不銹鋼或合金 22 閥體材料選項具有增強的耐腐蝕性,可承受腐蝕性日趨嚴(yán)重的介質(zhì)
擁有 5 μin. Ra 表面處理的高度拋光型波紋管支持在超高循環(huán)壽命的工藝中進行清潔操作,以實現(xiàn)工藝完整性
氣動執(zhí)行機構(gòu)可實現(xiàn)高速 (<10 ms) 且可重復(fù)的啟動,以實現(xiàn)精確而一致的流量,從而滿足計量要求。
規(guī)格
工作壓力 | 真空至 20 psig (1.4 bar) |
爆裂壓力 | >3200 psig (220 bar) |
執(zhí)行壓力 | 70 至 90 psig(4.8 至 6.2 bar) |
溫度 | 50° 至 392°F(10° 至 200°C) |
流量系數(shù) (Cv) | 1.2 (MSM) 1.7(直通型) |
閥體材料 | 316L VIM-VAR 或合金 22 |
波紋管材料 | 合金 22(5 μin. Ra 表面處理) |
端接 | |
類型(尺寸) | 內(nèi)螺紋 VCR® 接頭 (1/2 in.) 可旋轉(zhuǎn)外螺紋 VCR 接頭 (1/2 in.) 卡套管對焊,長度 0.50 in. (1/2 in. x 0.049 in.) 模塊化表面安裝高流量 C 型密封 (1.5 in.) |