發(fā)布時(shí)間: 2022-11-26 點(diǎn)擊次數(shù): 2128次
萊寶干式真空泵是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì),而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機(jī)械真空泵。
干式真空泵最為明顯的能力就是不用水來做介質(zhì),與傳統(tǒng)的真空設(shè)備相比,它可以有效的節(jié)約水資源,減少企業(yè)的能源消耗,真正使企業(yè)的生產(chǎn)更加的環(huán)保,并且可以提升企業(yè)生產(chǎn)發(fā)展的能力。同時(shí),在不斷發(fā)展的優(yōu)勢實(shí)力下,干泵的性能已經(jīng)充分體現(xiàn)出其自身的優(yōu)勢,要加大對產(chǎn)品應(yīng)用開發(fā)能力的重要性,針對企業(yè)生產(chǎn)的需要,加大對技術(shù)優(yōu)勢能力的不斷帶動,提高產(chǎn)品生產(chǎn)能力的有效展現(xiàn)。
1、雙圓裂片式
雙圓裂片式設(shè)計(jì)和目前流行和廣泛應(yīng)用的羅茨泵非常相似。事實(shí)上,一些最早期的干泵設(shè)計(jì)思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設(shè)計(jì)使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜,并且每一級都需要較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。同時(shí),為了達(dá)到好的真空度,對各級的間隙有非常嚴(yán)格的要求。當(dāng)然,這種設(shè)計(jì)由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。
2、三葉圓裂片式
三葉圓裂片式設(shè)計(jì)和雙圓裂片式設(shè)計(jì)的原理完q相同,只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設(shè)計(jì)有著相同的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。為了進(jìn)一步降低耗電量,在傳動部分有的廠家選用兩個(gè)直流馬達(dá),但這也會導(dǎo)致扭矩減小,重新啟動的能力-下降。同雙圓裂片式設(shè)計(jì)一樣,三葉圓裂片式設(shè)計(jì)的每一級都需要較大流量的氮?dú)鈦砥鸬较♂尯透綦x作用。
3、組合式(羅茨+爪)
組合式(羅茨+爪)設(shè)計(jì)用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率,用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計(jì)完q相同。也有些廠家將其最后一級改為星型設(shè)計(jì),這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份,就像三圓裂片式設(shè)計(jì)可以將其分為三份。同樣,在很多工藝中,組合式設(shè)計(jì)的每一級都需要較大流量的氮?dú)鈦砥鸬较♂尯透綦x作用。
4、外部壓縮型螺桿式
在外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)中,使用一對等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到最小,同時(shí)使得氣體通路最短也簡單。這樣,氣體在泵體內(nèi)停留的時(shí)間也最短。雖然這種設(shè)計(jì)由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較高,但在很多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極的穩(wěn)定性。這種單級設(shè)計(jì)使得其對氮?dú)庥昧康囊笠卜浅P《液唵?,這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮?dú)狻?/div>
5、內(nèi)部壓縮型螺桿式
除了使用一對非等距螺桿以外,內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)和外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設(shè)計(jì)由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當(dāng)?shù)乃?。但在很多工藝中,這種內(nèi)部壓縮同多級泵一樣,極易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學(xué)變化而產(chǎn)生固化或液化。