普發(fā)渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。優(yōu)點是啟動快,能抗各種射線的照射,耐大氣沖擊,無氣體存儲和解吸效應,無油蒸氣污染或污染很少,能獲得清潔的超高真空。廣泛用于高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。
渦輪分子泵的軸承由有油潤滑的滾動軸承和滑動軸承向完q非接觸式的空氣軸承和磁軸承方向發(fā)展。轉(zhuǎn)子的抽氣單元有渦輪葉片、盤式葉片和牽引式螺旋槽結構。而且動、靜葉片間的間隙很小,葉片很長剛性差。由于操作錯誤,突暴大氣到泵中,使葉片損壞,因為受大氣負載和離心力的作用開始彎曲振動,超過動、靜葉片的間隙將會發(fā)生葉片相碰損壞事故。因而,高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子系統(tǒng)遭到破壞時有發(fā)生,所以關于渦輪分子泵的安全使用問題,曾引起過渦輪分子泵的設計者和操作者的重視和研究,以使渦輪分子泵順利推廣應用與安全運行。
?。?)不能在前級泵工作時(前級管道接通)和真空室處于真空狀態(tài)時將渦輪分子泵停掉,否則將會使油蒸汽迅速從前級管路返流到泵的清潔端。
(2)分子泵系統(tǒng)在停機充干燥氣體前,一定要先將分子泵冷卻水關閉,且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級管路進行充氣。
?。?)選擇抽氣系統(tǒng)前級泵的大小時,應使渦輪分子泵的前級保持在分子流狀態(tài)下。
(4)不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運轉(zhuǎn)。
?。?)分子泵入口應裝設防護網(wǎng),以避免異物進入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片。