氦質(zhì)譜檢漏儀是一種基于質(zhì)譜原理的檢漏儀器，由真空系統(tǒng)、氦氣充填系統(tǒng)、氣體采樣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)組成。檢測時，將被測物體置于真空室內(nèi)，使其內(nèi)部達到所需真空度后，使用氦氣充填系統(tǒng)向被測物體外部充填氦氣，并通過氣體采樣系統(tǒng)將被測物體周圍環(huán)境中的氦氣吸入系統(tǒng)內(nèi)部。在采集過程中，加熱系統(tǒng)會對被測物體進行加熱處理，以促進任何潛在泄漏點的放大和釋放氦氣。采集到的氦氣進入真空室內(nèi)的質(zhì)譜儀中進行分析，通過檢測氦氣分子的質(zhì)量/電荷比，來確定被測物體是否存在泄漏。

　　氦質(zhì)譜檢漏儀其結構通常包括以下主要部分：

　　1、真空室

　　主體結構：真空室是檢漏儀的主體部分，通常由不銹鋼或鋁合金制成，具有良好的密封性能。

　　內(nèi)部涂層：內(nèi)部通常會進行特殊處理或涂層，以減少氣體吸附，保持真空度。

　　2、氦氣充填系統(tǒng)

　　氦氣源：提供氦氣供應的系統(tǒng)，通常包括氦氣瓶、調(diào)壓閥等設備。

　　氦氣輸送管道：將氦氣輸送到待檢測的系統(tǒng)或容器中。

　　3、質(zhì)譜檢測系統(tǒng)

　　質(zhì)譜儀：主要用于檢測氦氣的存在和濃度，通常包括離子源、質(zhì)量分析器、檢測器等部分。

　　控制系統(tǒng)：控制質(zhì)譜儀的運行和數(shù)據(jù)采集，通常包括控制面板、計算機軟件等。

　　質(zhì)譜儀接口：將待檢測系統(tǒng)中的氦氣引入質(zhì)譜儀進行檢測。

　　4、抽氣系統(tǒng)

　　真空泵：用于將真空室中的氣體抽出，維持系統(tǒng)的低壓狀態(tài)，通常包括機械泵、分子泵等。

　　閥門：控制氣體的進出，調(diào)節(jié)真空室內(nèi)的壓力。

　　5、控制和顯示系統(tǒng)

　　控制面板：用于設定檢測參數(shù)、控制儀器運行等。

　　顯示屏：顯示檢測結果、參數(shù)設置等信息。

　　報警系統(tǒng)：當檢測到泄漏時發(fā)出警報。

　　6、樣品室

　　樣品臺：放置待檢測的系統(tǒng)或容器，通常具有密封裝置，防止氦氣泄漏。

　　連接口：與氦氣充填系統(tǒng)和質(zhì)譜檢測系統(tǒng)連接的接口。

　　7、其他部件

　　氦氣檢測探頭：探測系統(tǒng)中的氦氣泄漏點。

　　真空度監(jiān)測裝置：監(jiān)測真空室內(nèi)氣體的壓力和真空度。